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    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    產品簡介:

    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優異的抗靜態和動態內應力能力,所以泵能提供更強的安全性

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    更新時間:2025-01-14

    產品產地:日本

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    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    愛發科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優異的抗靜態和動態內應力能力,所以泵能提供更強的安全性。
     



    真空泵不良現象及原因分析

    1、不良現象:真空泵運行過載報警。

    2、原因分析:

    經對真空泵進行拆解, 發現以下幾個問題點:

    不良現象 原因分析

    (1)轉子軸套部磨損:

    因軸承磨損導致轉子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

    (2)泵內齒輪箱內積碳:

    因泵軸承損壞,轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

    (3)軸承磨損:

    因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。

    (4)軸封磨損:

    因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

    (5)軸套磨損:

    因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。


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    日本愛發科干泵PDR-090CLN真空泵維修

     

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