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    日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    產(chǎn)品簡介:

    日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供更強的安全性

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    更新時間:2025-01-14

    產(chǎn)品產(chǎn)地:日本

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    日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

    愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,高真度運行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,所以泵能提供更強的安全性。
     



    真空泵不良現(xiàn)象及原因分析

    1、不良現(xiàn)象:真空泵運行過載報警。

    2、原因分析:

    經(jīng)對真空泵進行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點:

    不良現(xiàn)象 原因分析

    (1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:

    因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

    (2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:

    因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

    (3)軸承磨損:

    因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

    (4)軸封磨損:

    因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

    (5)軸套磨損:

    因高溫運行,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。


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